Cientistas criam o Nanoscópio

Redação do Site Inovação Tecnológica - 30/04/2004

Na produção de circuitos integrados de alto desempenho, com estruturas cada vez menores, os dias em que se utilizava a luz visível já se foram. A indústria de semicondutores já está adotando processos com raios laser ultravioleta, com comprimentos de onda entre 193 e 248 nanômetros.

O EUV ("Extreme Ultraviolet") é hoje o candidato mais promissor para dar seguimento à tendência de construção de componentes eletrônicos cada vez menores. O processo de litografia baseado no EUV utiliza comprimentos de onda próximos aos dos raios-X, entre 11 e 14 nanômetros.

Mas esta nova tecnologia ainda oferece vários desafios aos cientistas. A geração de raios EUV exige aparatos grandes e caros para a geração de radiação síncrotron. Além disso, como esses raios são absorvidos pela atmosfera, o processo inteiro deve se dar no vácuo. E, ao invés das máscaras e lentes transparentes, o novo processo exige que os raios EUV sejam refletidos por espelhos muito precisos e quase perfeitos.

Agora pesquisadores alemães do Instituto Fraunhofer deram um passo a mais nesse caminho. Eles criaram o primeiro microscópio EUV independente de uma fonte de luz síncrotron. O equipamento é tão preciso que está sendo chamado pelos cientistas de nanoscópio, em referência ao nanômetro, a bilionésima parte do metro. É nesse mundo de dimensões minúsculas que se encontram todas as promessas da nanotecnologia.

A imagem é capturada por uma câmera digital. Para se ter uma idéia da precisão alcançada pelo nanoscópio, apesar dos grandes avanços da tecnologia das câmeras digitais, a precisão do equipamento é limitada justamente pelo CCD, a alma da câmera.

Um único pulso de radiação EUV, com duração de um décimo de segundo, é suficiente para se capturar uma imagem do objeto que está sendo examinado pelo nanoscópio. A uma freqüência de 50 Hertz, um pouco menos do que a freqüência da corrente elétrica comum, é possível criar filmes dos objetos observados.