Criado dispositivo de medição com exatidão de 50 nanômetros

Redação do Site Inovação Tecnológica - 05/07/2002

Máquinas em micro escala (MEMS) estão pouco a pouco se tornando úteis em várias aplicações industriais. Ainda há muitos desafios a serem vencidos até que se consiga a fabricação destes dispositivos microscópicos em larga escala. Mas a criação de um equipamento capaz de efetuar medições nas escalas envolvidas pode ajudar nesse processo.

Estas máquinas estão se tornando importantes em várias aplicações, incluindo a fabricação de projetores digitais, que contêm milhões de micro espelhos, ou sensores de movimento para acionamento de "air-bags". Muitos outros microsistemas poderão ter impacto na vida diária, tal como monitores que cabem na palma da mão ou implantes médicos que podem liberar medicamentos no corpo do paciente nas doses necessárias. Mas para que esses equipamentos funcionem adequadamente, eles terão que ser construídos com uma precisão de escala micrométrica.

Da mesma forma que acontece em escala macro, a produção em linha desses dispositivos somente terá sucesso caso se consiga um adequado controle de produção. Sem este controle, a fração de componentes utilizáveis será baixa. A metrologia é fundamental para o entendimento e controle do processo de produção em nível micrométrico. Mas, enquanto a metrologia está largamente disponível para as indústrias tradicionais e seus macro-produtos, a necessidade de uma metrologia em nível micrométrico ainda não recebeu a atenção necessária.

Para auxiliar na fabricação desses componentes, pesquisadores do Laboratório Nacional de Física de Teddington (Inglaterra), desenvolveram um medidor de coordenadas que opera em uma ampla faixa de valores, com exatidão de 50 nanometros. O dispositivo permite a extensão das capacidades de medição de coordenadas, alcançando objetos menores e mais delicados.

Um exemplo onde a própria metrologia pode ser altamente beneficiada pela tecnologia MEMS é a produção comercial de instrumentos medidores de pressão de alta precisão. Diafragmas de silício têm sido utilizados em um grande número de aplicações, desde o monitoramento de ambientes controlados de laboratórios e sonares marítimos, até sensores para acionamento de air-bags e altímetros espaciais.